Electrochemical bases of macrorunning in of flat friction surfaces process at ECMP(G)
Abstract
The results of theoretical researches of electrochemical-mechanical running in are presented in the article. The mathematical model, describing diminishing of macrogeometrical error of flat surfases at ECMR, is got.References
1. Yuan – Long Chen, Shu– Min Zhu, Shuo – Jen Lee and other. The technology combined electrochemical mechanical polishing. Journal of Materials Processing Technology 140 (2003). – pp. 203 – 205.
2. Алексеев В.П. Электрохимико-механическая макроприработка деталей. – Луганск:Элтон-2. – 2011-204 с.
3. Замота Т.Н. Физико-химические основы процесса макроприработки плоских поверхностей трения // Проблеми трібології. – 2011. – № 2. – С. 26-30.
4.Taras Zamota, Alexander Kravchenko. Electrochemical-mechanical running in of the main engine′s conjugations // TEKA, Commission of Motorization and Power Industry in Agriculture. - Vol. XD. - Lublin,2010. - P. 58-65
5.L. Economikos, X. Wang, A. Sakamoto, P. Ong, M. Naujok, R. Knarr, L. Chen, Y. Moon, S. Neo, J. Salfelder, A. Duboust, A. Manens, W. Lu, S. Shrauti, F. Liu, S. Tsai, W. Swart. Integrated Electro – Chemical Mechanical Planarization (Ecmp) for Future Generation Device Technology. IEEE, 2004. – pp.233 – 235.
6.Shuo– Jen Lee, Yu– Ming Lee, Ming– Feng Du. The polishing mechanism of electrochemical mechanical polishing technology. Journal of Materials Processing Technology 140 (2003). – pp. 280 – 286.
7. Любимов В.В., Китаев Ю.В. Влияние анионного состава электролита на выравнивающие свойст-ва электрохимической обработки с периодической абразивной депассивацией // Электронная обработка материа-лов. – 1983. – № 5. – С. 13-17.
8.Мороз И.И. Основы повышения точности электрохимического формообразования.- Кишинев: Штиинца, 1977. – 293 с.
9. Справочник по электрохимии / Под ред. А.М.Сухотина. – Л.:Химия, 1.
2. Алексеев В.П. Электрохимико-механическая макроприработка деталей. – Луганск:Элтон-2. – 2011-204 с.
3. Замота Т.Н. Физико-химические основы процесса макроприработки плоских поверхностей трения // Проблеми трібології. – 2011. – № 2. – С. 26-30.
4.Taras Zamota, Alexander Kravchenko. Electrochemical-mechanical running in of the main engine′s conjugations // TEKA, Commission of Motorization and Power Industry in Agriculture. - Vol. XD. - Lublin,2010. - P. 58-65
5.L. Economikos, X. Wang, A. Sakamoto, P. Ong, M. Naujok, R. Knarr, L. Chen, Y. Moon, S. Neo, J. Salfelder, A. Duboust, A. Manens, W. Lu, S. Shrauti, F. Liu, S. Tsai, W. Swart. Integrated Electro – Chemical Mechanical Planarization (Ecmp) for Future Generation Device Technology. IEEE, 2004. – pp.233 – 235.
6.Shuo– Jen Lee, Yu– Ming Lee, Ming– Feng Du. The polishing mechanism of electrochemical mechanical polishing technology. Journal of Materials Processing Technology 140 (2003). – pp. 280 – 286.
7. Любимов В.В., Китаев Ю.В. Влияние анионного состава электролита на выравнивающие свойст-ва электрохимической обработки с периодической абразивной депассивацией // Электронная обработка материа-лов. – 1983. – № 5. – С. 13-17.
8.Мороз И.И. Основы повышения точности электрохимического формообразования.- Кишинев: Штиинца, 1977. – 293 с.
9. Справочник по электрохимии / Под ред. А.М.Сухотина. – Л.:Химия, 1.
Downloads
Published
2014-07-16
How to Cite
Замота, Т. (2014). Electrochemical bases of macrorunning in of flat friction surfaces process at ECMP(G). Problems of Tribology, 62(4), 56–61. Retrieved from https://tribology.khnu.km.ua/index.php/ProbTrib/article/view/289
Issue
Section
Articles
